高精度真圆度仪 设备的主要功能
可测环形工件的圆度、表面波纹度、频谱分析、波高分析、同轴度、垂直度、平行度、平面度及轴弯曲度等。 2. 设备的主要技术参数 a) 主轴精度：±0.0125μm b) 系统精度：≤0.03μm c) 数据采集：圆光栅 d) 量程范围：500μm (半径差) e) 传感器分辨率：0.001μm f) 测量范围：最大直径：ф140mm , 最小内径：ф5mm g) 转 速：5 r/min h) 承 载：10Kg i) 电 源：AC 220V±10% 50Hz j) 工作压力：0.40～0.43MPa k) 气源压力：0.45～0.80Mpa (气源质量要求：常规) l) 气源流量：≥0.2 m3/min m) 环境要求：温度：10～30℃；相对湿度：＜85% 3. 仪器测量原理 采用半径测量法，工件旋转式。旋转轴系采用高精度气浮主轴作为测量基准；电器部分由高级计算机及德国海德汉精密圆光栅传感器、精密电感位移传感器组成，德国海德汉精密圆光栅传感器、精密电感位移传感器计量角度、径向位移量，保证测量工件的角位移、径向值的精确度；测量软件采用基于中文版Windows操作系统平台的DTP系统测量软件，完成数据采集、数据处理及打印输出等工作。 |